Silicon growing 초전도자석

내경 1200mm 전도냉각 자석
8inch 400
내경 1600mm 초전도냉각 자석
12inch

제품 개요

 

실리콘 웨이퍼를 만드는데 있어 핵심 소재인 잉곳을 생산하는데 필요한 Magnet입니다. 본 자석은 Horizontal Field  자장 구현이 가능하며, 이는 대구경 Ingot을 균일하게 성장시키는데 필요합니다. 또한 기존 상전도 자석에비하여 1/50 이하로 유지 및 관리 비용이 적게 듭니다.

추가로 기존 실리콘 웨이퍼 생산 설비를 보다 효과적으로 개선하여 대구경의 잉곳을 생산하여 단가 인하의 효과를 가져 올 수 있습니다.

Specification

Field direction : Horizontal

Generated Filed : 4000G@ center

Inner Bore : 1200mm by fully conduction cooling  system

: 1600mm by zero boil off cooling system.

운전 온도 : 3.8K~4.2K

Magnetic shield : steel1008 with 120mm thickness

Superconductor : NbTi,  Nb3Sn, YBCO

특징

 

Saddle Type Coils ; Very narrow Cryostat

Two Croycoolers Only

Ultra low Stray Field

Option

 

자장 크기 협의

TEST 및 Maintenance