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MCZ Dry type SHF 1.6

개요


이 제품은 실리콘 웨이퍼의 핵심 재료인 잉곳을 생산하는데 요구되는 자석입니다.


이 자석은 잉곳 직경을 균일하게 하는데 필수적인 수평 자기장을 형성할 수 있습니다. 게다가, 유지보수 비용 역시 현단계 전도 자석과 비교하여 1/50 수준으로 매우 저렴합니다.


또한, 대구경 잉곳 생산비를 절감시켜 현재의 실리콘 웨이퍼 생산 설비의 효율성도 더욱 향상될 것입니다.

일반 사양

항목내용
외경
2,400mm
내경
1,600mm
높이
 1,400+480mm
무게
12.5 ton
자기장
중심부에서 3.5kG
작동전류
0 ~ 150A
냉각방법
무헬륨 냉각
극저온냉동기 개수
2대
품질보증기간
1년(PM제외)
인증
ISO9001, ISO14001, TUV

세부 사양


항목
내용
자석 본체
코일원형 안장형(JH특허)
자기장 방향수평
중심부 자기장3.5kG(최대 4.5kG)
작동 전류125A ~ 150A
코일 최대 자기장6T
선재NbTi: ∅1.08mm
전류도입선(Current Lead)
HTS 280A Class;90mW heat leak
퀜치 보호 방식Passive 타입
저온유지장치내경 1,600mm
외경 2,400mm
높이 1,400+480mm
열차폐50K
냉각 방식무헬륨 냉각 

구성품

번호
항목
수량
비고
1
자석 본체&저온유지장치
1 system

2
헬륨 Compressor
2 units
Flexible Lines 포함
3
Magnetic Shield

저탄소강(설치된 상태로 제공)
4제어 System
1 system
  자석 전원 공급 장치
  온도 확인 모니터
  인터락 및 제어 소프트웨어
  기기 케이블 및 전원 케이블
5설치 부속품


특징

코일

  • 안장형
  • 좋고 균질한 자장
  • 그로잉에 최적화
  • 권선 크기에 제약 없음 
  • 코일별 균일한 자기장(안정적인 구동 가능)
  • 단축된 자장 체류 
  • 자체 특허 권선 방법 사용

냉동기

  • 콜드헤드 대체 용이
  • 퀜치 시 자가 회복 시스템
  • 소형화 및 경량화

요구 자원

플러그 & 플레이 작동

  • 초기 냉각 시간 < 3 주

전원 

  • 인가 전압 : 3상 230V; 요청에 따라 수정 가능 
  • 두 개의 냉각기 : 7.5kW×2대 < 최대 15kW
  • 자석 전원 공급 장치 & 제어 장치 : 3kW – 220V(단상)

냉각수 : < 15°C@30L/min

액체헬륨 불요

자장 프로필

 

XY평면상 자장 프로필

XZ평면상 자장 프로필


포장

자석은 거대 나무박스에 포장됩니다. 다양한 부속품들이 동봉되어 있습니다. 파워 서플라이는 분리되어 포장됩니다.


운송

제작부터 운송까지 약 2~3달 정도 소요됩니다. 주문 후 제작이 진행되기 때문입니다.(주문 후 제작 방식).



설치

플러그&플레이 방식으로, 자석을 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.

보증

제품의 보증 기간은 운송 완료날로부터 1년입니다.



번호
항목
수량
비고
1
자석 본체&저온유지장치
1 system

2
헬륨 Compressor
2 units
Flexible Lines 포함
3
Magnetic Shield

저탄소강(설치된 상태로 제공)
4제어 System
1 system

자석 전원 공급 장치
온도 확인 모니터
인터락 및 제어 소프트웨어
기기 케이블 및 전원 케이블

5설치 부속품



HEAD OFFICE

주소 : 경기도 안양시 동안구 엘에스로91번길 32-19

TEL : +82-31-416-1774

BRANCH OFFICE

주소 : 서울시 강북구 삼양로 510-5 (마루스위트30) 201호   TEL : +82-2-907-1339

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