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실리콘 링

제품 소개


  • 포커스 링: 적재적소에 플라즈마를 집중 시킴
  • 전극을 단단히 고정시키고 웨이퍼에 평행하게 유지

기술적 스펙: 아우터 링

제품 이름
Ring mono Si flat top GND
아우터 전극
재료 분류
단결정 규소
단결정 규소
외경
456.6mm
430mm
내경
397.4mm
341mm
두께
12mm
15mm
표면마감처리
연마
그라인딩
저항성
2.5±1.5Ω-Cm
2.5±1.5Ω-Cm
제품 모양

기술적 스펙: 포커스 링

제품 이름
포커스 링1
포커스 링2
포커스 링3
재료 분류
단결정 규소
단결정 규소
단결정 규소
외경
268mm
360mm
360mm
내경
196.4mm
296.5mm
297.1mm
두께
6.5mm
3.45mm
3.1mm
표면마감처리
연마
연마
연마
저항성
2.5±1.5Ω-Cm
2.5±1.5Ω-Cm
2.5±1.5Ω-Cm
제품 모양

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주소 : 경기도 안양시 동안구 엘에스로91번길 32-19

TEL : +82-31-416-1774

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