실리콘 링
제품 소개
기술적 스펙: 아우터 링
제품 이름 | Ring mono Si flat top GND | 아우터 전극 |
재료 분류 | 단결정 규소 | 단결정 규소 |
외경 | 456.6mm | 430mm |
내경 | 397.4mm | 341mm |
두께 | 12mm | 15mm |
표면마감처리 | 연마 | 그라인딩 |
저항성 | 2.5±1.5Ω-Cm | 2.5±1.5Ω-Cm |
제품 모양 |
기술적 스펙: 포커스 링
제품 이름 | 포커스 링1 | 포커스 링2 | 포커스 링3 |
재료 분류 | 단결정 규소 | 단결정 규소 | 단결정 규소 |
외경 | 268mm | 360mm | 360mm |
내경 | 196.4mm | 296.5mm | 297.1mm |
두께 | 6.5mm | 3.45mm | 3.1mm |
표면마감처리 | 연마 | 연마 | 연마 |
저항성 | 2.5±1.5Ω-Cm | 2.5±1.5Ω-Cm | 2.5±1.5Ω-Cm |
제품 모양 |
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