MCZ 그로잉 초전도자석

WET Type (1,600mm)

개요

본 자석은 실리콘 웨이퍼를 만드는데 필요한 잉곳을 생산하는데 필요한 자석이다. 균일한 대구경 잉곳을 생산하는데 필요한 수평형 자기장을 형성 할 수 있다.

추가로, 기존 상전도 자석과 비교하여 유지보수비용이 1/50이하 수준으로, 유지비용이 절감된다. 또한 설비 개선으로 실리콘 웨이퍼 생산성이 향상되어, 대구경 잉곳 생산비용도 절감된다. 

특징

코일

• 안장형
• 좋은 자장 균질성
• 그로잉에 최적화(석영 벽면으로부터 산소량 최소)
• 권선 크기 제한 없음
• 균형 잡힌 코일 자장  (안정적인 작동)
  - 적은 체류 시간
  - 특허 권선법

필요 자원

전력

• 투입 전력 : 3상 230V ; 고객 요구따라 수정가능

• 2대의 냉동기 : 10kWx2 unit = 20kW max

• 자석 전원 공급장치&제어 유닛  : 3kW

고순도 헬륨 가스 47L 실린더 : 3 units

• 초기 냉각용

액체 헬륨 :  초기 냉각용 1000L

액체 질소 :  초기 냉각용 800L

냉각수 :  < 15°C@30L/min

자장 프로필

XY 평면상 자장 프로필

Equal-field line interval

- 0.01T(100G)

XZ 평면상 자장 프로필

Equal-field line interval

- 0.01T(100G)